废水经化学氧化处理，可使废水中所含有机物质和无机还原性物质进行氧化分解，不仅达到净化目的，还可达到去臭、去味、去色的效果。
自从20世纪初法国巴黎最先使用臭氧处理城市自来水以来，臭氧氧化法呈现良好的发展势头。最近相继建成的一些臭氧处理废水的工业装置效果很好，但其用电量大，成本较高。
臭氧在常温常压下是一种淡紫色气体，有特殊气味，其沸点为-111.9℃，在20℃及0.1013MPa下密度为2.141g/L,为氧的1.5倍。它在水中溶解度比氧大10倍。臭氧具有以下一些重要性质：
不稳定性，臭氧非常不稳定，在常温下很容易自行分解成氧气，同时还放出热量，分解的速度与温度、臭氧的浓度成正比；臭氧溶解在水中也不稳定，在较短时间内即分离为氧。溶解在蒸馏水中的臭氧的半衰期为15-30min;溶解在水中的臭氧的分解速度受PH值的影响也极为明显；在酸性废水中臭氧比较稳定；在碱性废水中则分解迅速。
溶解性，臭氧在水中的溶解度比纯氧高10倍，比空气高25倍，臭氧的溶解度还受其在空气中的浓度、环境压力的影响。
氧化性 臭氧可使有机物质被氧化、可使烯烃、炔烃及芳香烃化合物被氧化成醛类和有机酸；臭氧很容易破坏废水中所含有的酚，例如含600cm³/m³酚的石油废水在PH值为12时，用1000cm³/m³臭氧几乎可以使酚全部分解，达到残余酚量小于0.015cm³/m³的排放要求，在PH值为7时，要达到同样的处理程度，则需多消耗一倍的臭氧。一般臭氧的投加量为20-4000cm³/m³时，酚的去除率可达96%。臭氧对石油废水中所含的硫醚、二硫化物、噻吩、硫茚以及其他致癌物质如1,2苯并蒽等均有很强的分解能力；臭氧也可以与无机物如氰化物等发生化学反应而放出氧。
由于臭氧及其在水中分解的中间产物氢氧基有很强的氧化性，可分解一般氧化剂难以破坏的有机物，而且反应完全，速度快，剩余臭氧会迅速转化为氧，出水无臭无味，不产生污泥，原料空气来源广，因此臭氧氧化法在废水处理中是很有前途的。
印染废水的色度高，用生物处理时除色效果差。用臭氧处理时，可以单独进行，也可与其他工艺（如絮凝过滤、活性炭吸附）结合使用。单独用臭氧处理人造丝染色废水时，脱色率可达90%；臭氧与絮凝过滤结合作用，脱色率可达99%～100%。对于一般印染废水，臭氧投量40mg/L,脱色率达90%以上；但去除COD的能力低，仅40%，对于絮凝法难以去除的水溶性染料，用臭氧接触3～10min,水就变得清澈无色。
臭氧处理含酚废水的效果也很好。据报道采用20～40mg/L的剂量，可使生物处理后（经二次沉淀）水中的含酚量由0.38mg/L降到0.012mg/L。采用臭氧处理焦化厂含酚废水，投量1000～2500mg/L，可使酚浓度由300～1500mg/L降到0.6～1.2mg/L。对于重油裂化废水，投量169～190mg/L，pH=11.4时，除酚率达99.6%；pH=10.2时，油的去除率达87%。炼油厂废水，经脱硫、浮选和曝气处理后，含酚0.1～0.3mg/L，含油5～10mg/L，硫化物0.05mg/L；再采用臭氧进行三级处理，柱高5m，扩散板孔隙20μm左右，接触时间10min,投臭氧50mg/L，处理后的含酚量小于0.01mg/L，含油量小于0.3mg/L，硫化物小于0.02mg/L，COD去除约60%，色度由8～12降到2～4度。
臭氧处理含氰废水的试验表明，对于重油裂解废水，pH=11.4时，臭氧投加量为169～190mg/L，去氰效率达79.3%；对于电镀废水，含氰浓度为32.5mg/L时，投加臭氧60mg/L，去氰率达98.9%；对于腈纶废水，含丙烯腈102mg/L（未经生化处理），投臭氧30mg/L，可完全去除丙烯腈。
臭氧氧化法也用于某些重金属的去除。为了除去水中重金属离子，先用石灰调PH值为7-9，然后加臭氧到饱和，就可除去99.5%以上的镉、铬、铅、镍、锌、铁、锰、铝等。
自从20世纪初法国巴黎最先使用臭氧处理城市自来水以来，臭氧氧化法呈现良好的发展势头。最近相继建成的一些臭氧处理废水的工业装置效果很好，但其用电量大，成本较高。
臭氧在常温常压下是一种淡紫色气体，有特殊气味，其沸点为-111.9℃，在20℃及0.1013MPa下密度为2.141g/L,为氧的1.5倍。它在水中溶解度比氧大10倍。臭氧具有以下一些重要性质：
不稳定性，臭氧非常不稳定，在常温下很容易自行分解成氧气，同时还放出热量，分解的速度与温度、臭氧的浓度成正比；臭氧溶解在水中也不稳定，在较短时间内即分离为氧。溶解在蒸馏水中的臭氧的半衰期为15-30min;溶解在水中的臭氧的分解速度受PH值的影响也极为明显；在酸性废水中臭氧比较稳定；在碱性废水中则分解迅速。
溶解性，臭氧在水中的溶解度比纯氧高10倍，比空气高25倍，臭氧的溶解度还受其在空气中的浓度、环境压力的影响。
氧化性 臭氧可使有机物质被氧化、可使烯烃、炔烃及芳香烃化合物被氧化成醛类和有机酸；臭氧很容易破坏废水中所含有的酚，例如含600cm³/m³酚的石油废水在PH值为12时，用1000cm³/m³臭氧几乎可以使酚全部分解，达到残余酚量小于0.015cm³/m³的排放要求，在PH值为7时，要达到同样的处理程度，则需多消耗一倍的臭氧。一般臭氧的投加量为20-4000cm³/m³时，酚的去除率可达96%。臭氧对石油废水中所含的硫醚、二硫化物、噻吩、硫茚以及其他致癌物质如1,2苯并蒽等均有很强的分解能力；臭氧也可以与无机物如氰化物等发生化学反应而放出氧。
由于臭氧及其在水中分解的中间产物氢氧基有很强的氧化性，可分解一般氧化剂难以破坏的有机物，而且反应完全，速度快，剩余臭氧会迅速转化为氧，出水无臭无味，不产生污泥，原料空气来源广，因此臭氧氧化法在废水处理中是很有前途的。
印染废水的色度高，用生物处理时除色效果差。用臭氧处理时，可以单独进行，也可与其他工艺（如絮凝过滤、活性炭吸附）结合使用。单独用臭氧处理人造丝染色废水时，脱色率可达90%；臭氧与絮凝过滤结合作用，脱色率可达99%～100%。对于一般印染废水，臭氧投量40mg/L,脱色率达90%以上；但去除COD的能力低，仅40%，对于絮凝法难以去除的水溶性染料，用臭氧接触3～10min,水就变得清澈无色。
臭氧处理含酚废水的效果也很好。据报道采用20～40mg/L的剂量，可使生物处理后（经二次沉淀）水中的含酚量由0.38mg/L降到0.012mg/L。采用臭氧处理焦化厂含酚废水，投量1000～2500mg/L，可使酚浓度由300～1500mg/L降到0.6～1.2mg/L。对于重油裂化废水，投量169～190mg/L，pH=11.4时，除酚率达99.6%；pH=10.2时，油的去除率达87%。炼油厂废水，经脱硫、浮选和曝气处理后，含酚0.1～0.3mg/L，含油5～10mg/L，硫化物0.05mg/L；再采用臭氧进行三级处理，柱高5m，扩散板孔隙20μm左右，接触时间10min,投臭氧50mg/L，处理后的含酚量小于0.01mg/L，含油量小于0.3mg/L，硫化物小于0.02mg/L，COD去除约60%，色度由8～12降到2～4度。
臭氧处理含氰废水的试验表明，对于重油裂解废水，pH=11.4时，臭氧投加量为169～190mg/L，去氰效率达79.3%；对于电镀废水，含氰浓度为32.5mg/L时，投加臭氧60mg/L，去氰率达98.9%；对于腈纶废水，含丙烯腈102mg/L（未经生化处理），投臭氧30mg/L，可完全去除丙烯腈。
臭氧氧化法也用于某些重金属的去除。为了除去水中重金属离子，先用石灰调PH值为7-9，然后加臭氧到饱和，就可除去99.5%以上的镉、铬、铅、镍、锌、铁、锰、铝等。